潔淨棚日常維護還需（xū）要注意哪些細（xì）節？
在潔淨棚的日常維護中，除了（le）基礎的組件保養和係統管（guǎn）理外，還有許多容易被（bèi）忽視（shì）的細節，這些細節對維持潔淨度、設備穩定性（xìng）及人員操作（zuò）規範至關重要。以下從（cóng）環境控製、人員操作、特殊（shū）場景等維度補充關鍵細節：
氣（qì）流組織優（yōu）化
定（dìng）期檢查高效過濾器出風口的勻流膜（擴散板）是否積塵或堵塞，用無（wú）塵布蘸酒精擦拭表麵，避免氣流不均導（dǎo）致局部潔淨度下降。
嚴禁在潔淨棚內堆放雜物（如工具、耗材），保持工作區下方（fāng）離地麵至少 50cm 的空間，防止阻擋回風口氣流。
溫濕度精細控製
注意加濕器水箱的清潔（每周用 3% 過氧化氫溶液浸泡 30 分鍾，防止微生物滋生），若為電極式加濕器（qì），每季度更換（huàn）電極棒以避免結垢影（yǐng）響加濕效率。
當溫濕度波動超過設定值（如溫度 ±1℃、濕度 ±3% RH）時，需檢查（chá）空調機組（zǔ）表冷器是否結垢、加濕器噴口是否堵塞。
靜電控製細節
每日用靜電測試儀檢（jiǎn）測工作台（tái）麵、地麵的靜電值（目標值≤10^9Ω），若超標需檢查（chá）接地線是否鬆動（接地（dì）電阻應≤1Ω），或更換防靜電台墊。
禁止在潔淨棚（péng）內使用化纖材質的物品（如抹布、文件袋），所有工具需選用防靜電版本（如防靜電（diàn）鑷子（zǐ）、螺絲刀）。
進出流程細化
風淋室使用時，需確保噴嘴出風口風速≥25m/s（可定期用風速儀檢測（cè）），人員在風（fēng）淋室內應轉（zhuǎn）動身體 360°，吹淋時間不足時嚴禁（jìn）強（qiáng）行開門。
傳遞窗兩側門需互鎖（若為手動門，需張貼 “禁止同時開啟” 標識），傳遞（dì）物品時需先關閉外側門，經紫外燈照射 30 分鍾後（hòu）（如設定（dìng））再開啟內側門。
作業行為管控
操作人員（yuán）在潔淨棚內動作需輕柔（róu），避免快速走動或揮（huī）手（實驗數（shù）據表明，快速動作可使塵埃粒子數瞬間增加 30%），必要時使用無（wú）塵簾（lián）隔離操作（zuò）區。
禁止在潔淨棚內飲水、飲食（shí）或使用化妝品，防止微塵與微生物汙染，臨（lín）時離開後重新進入需（xū）再次更衣（yī）、風淋。
FFU（風機過（guò）濾單元）維護
每月通過 FFU 控（kòng）製麵板查看風機轉速是否穩定（允許（xǔ） ±5% 波（bō）動（dòng）），若轉速異常降低（dī），可能是過濾器阻力過大或電機軸承磨損，需及時排查。
對於吊頂式（shì） FFU，每季度檢查（chá）吊裝螺栓是否鬆動（尤（yóu）其（qí）在頻繁啟停後），防止設（shè）備（bèi）墜落（luò）風（fēng）險，同（tóng）時清理（lǐ） FFU 頂部與（yǔ）天花板之（zhī）間的積塵。
高效過濾器密封細節
更換高效過濾器後，需用熒光檢（jiǎn）漏（lòu）儀檢測邊框密封膠是否（fǒu）有漏點（在暗環境下觀察，漏光處（chù）需補塗密封膠），或用氣溶膠發生器配（pèi）合粒子計數器掃描邊緣，確保泄漏率≤0.01%。
地漏與排水係統
潔淨棚內（nèi）若設有地漏（lòu），需每日檢查水（shuǐ）封（fēng）是否有效（水封高度≥50mm），每周倒入消毒（dú）水（如次氯酸鈉溶（róng）液）防止異味（wèi）與微生物滋生，蓋（gài）板（bǎn）需保持密封狀（zhuàng）態。
監測設備校準與擺放
塵埃粒子計（jì）數器的（de）采樣口需固定在工作區高度（距地麵 0.8-1.2m），避免貼近牆麵或（huò）設備，采樣時保持采樣管垂直，防止氣流幹擾數據。
所有監測儀器（如壓差表、溫濕度計）需貼有（yǒu）校準標簽，校準周（zhōu）期不超過（guò） 1 年，若發現（xiàn）數據異常（如壓差表（biǎo）指針抖動），需立即用標準表比對。
數據記錄與趨勢分析
維護台賬（zhàng）需記錄每日 3 次（早、中、晚）的關鍵參數（如風速、壓差、粒子數），並用折線圖繪製趨勢，若連續 3 天數據呈上升趨勢（如粒子數增（zēng）加 20%），需（xū）提前安排（pái）過濾器檢查。
特別（bié）注意節（jiē）假日或長期停機後的重啟（qǐ）數（shù）據，開機後需運行 30 分鍾以上再檢測潔淨度，避免初始氣流不穩定導致（zhì）誤判。
突發汙染應對
若（ruò）發生（shēng）液體泄漏（如試劑、溶劑（jì）），需立即用無塵吸附棉覆蓋吸附，再用 75% 酒精（jīng）或專用消毒（dú）劑（如季銨鹽（yán）類）擦拭地麵及周邊區域，汙（wū）染麵積超過 1㎡時需記錄並追蹤後續潔（jié）淨度變化。
發現微生物超標（如（rú）浮遊菌＞100CFU/m³），需使用汽化（huà）過（guò）氧化氫發生（shēng）器進行空間滅（miè）菌（濃度≥600ppm，作用時間（jiān）≥2 小時），滅菌後需通風 4 小時以上再進入（rù）。
停機與重啟管理
短期停機（＜24 小時）時，風機需（xū）保持低速運行（維持微正壓），避免外界灰塵倒灌（guàn）；長期停機（＞72 小時）前，需徹底清潔內部並關閉所有風門，重啟時需先（xiān）更（gèng）換（huàn）初、中（zhōng）效過濾器。
醫藥行業：潔淨棚內使用的消毒劑需交替使用（如酒精與碘伏每（měi）月（yuè）輪換），避（bì）免微生物產生耐（nài）藥性；稱量（liàng）間需額外檢查層流罩的垂直風速（應維持 0.36-0.54m/s）。
半導（dǎo）體（tǐ）行業：禁止使用含矽（Si）的清潔劑，防止矽氧烷揮發汙染晶圓；維護工具（jù）需經離子風（fēng）槍吹淋後再帶入，避免靜電吸附微塵。
與過濾器（qì）供應商簽訂（dìng）年（nián）度維護協議，要求提供過濾器阻力 - 使用時間的預測模（mó）型，提前備貨易損件（如初效過濾器季度用量的 1.5 倍）。
每年邀請第三方檢測機構進行動態（tài）潔（jié）淨度認證（如 ISO 14644-1 檢（jiǎn）測（cè）），檢測報告需歸（guī）檔保存，作為合規性審核（hé）依據。
通過關注上述細（xì）節，可將潔淨棚的維護（hù）從 “被動（dòng）維修（xiū）” 轉為 “主動預防（fáng）”，尤其在半導體、醫藥等高要求領域，細節（jiē）管（guǎn）理直接影（yǐng）響（xiǎng）產品（pǐn）良率與合規性。建議製定《潔（jié）淨棚維護 checklist》，將細節要點轉化為可執行的檢查項，確保維護工作無遺漏。
