用塵埃粒（lì）子（zǐ）計數器（qì）對高效過（guò）濾器檢測檢漏方法

用塵埃粒子計數器對高效過（guò）濾（lǜ）器檢測檢漏方法及（jí）檢測檢漏標準（zhǔn）：用大氣塵為塵源與粒子計數器配合，對高效過（guò）濾器作檢漏（lòu）檢查。打開風機（jī），在離高效過濾器表麵25mm處采用塵埃粒子計數器掃描檢測，掃描速度為5cm-30 cm /s，檢測出0.5μm的微粒數不得超過3500粒/m3。

塵埃粒子計數（shù）器高效過濾器檢漏方法：

潔淨度級別等於或高於100級（jí）的潔淨車間的高效過濾器安裝前（qián）必須作（zuò）現場檢漏，重點是檢查過濾器有（yǒu）無破損漏泄等自身質（zhì）量。

所有級別的潔淨車間，都要求（qiú）對其安裝好的高效過濾器作檢漏，在現行規（guī）範沒有給出檢查（chá）數量時，可以自定（dìng）一個比例，安裝檢漏的（de）重點是空氣過濾器邊框密封質量（liàng）。

高（gāo）效過濾器檢漏常用的儀器有:塵埃粒子（zǐ）計數器和5C氣溶膠發生器。

用於測量潔淨環（huán）境中單位體積空氣（qì）內的塵埃粒子大小及數目，可直接檢測潔（jié）淨度等（děng）級為十級至三十萬（wàn）級的潔淨環境。體積（jī）小、重量輕、檢測（cè）精度（dù）高、功（gōng）能操作簡單明了（le），微處理器控製，可貯存（cún）、打印測量結果，測試潔淨環境十（shí）分便利。

5C氣溶膠發（fā）生器（qì）

5C氣溶膠發生器能產（chǎn）生一致的（de）多種直徑分布的氣溶膠粒子，TDA-5C氣溶膠發（fā）生器（qì）與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠（jiāo）光度（dù）計配合使用時能提供足夠的挑戰粒（lì）子去測量高效過濾係統。

潔淨室高效過濾器粒子計（jì）數（shù）器法檢（jiǎn）漏的一般規定

（1）被檢過濾器（qì）必（bì）須已測過風量，在設計風速的80%～120%之間運行。

（2）在被檢高效過濾器上（shàng）風側測定大氣塵的微粒數，以大於或等於（yú）0.5ΜM微粒為準，其濃度必須大於或等於3.5×`10^4`粒/L；若檢測超高效過濾器，則以大於或等（děng）於0.1ΜM微粒為準（zhǔn），其濃度（dù）必須大於或等於3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上風側濃度不符合（hé）上項規（guī）定，則應引入不經過濾的空氣，如果還達不（bú）到規定（dìng），則不宜（yí）用粒子計數器法和凝結核計數器法檢漏（lòu）。

（4）檢漏時將采樣口放（fàng）在距（jù）離被檢過濾器表麵（miàn）2～3CM處，以5～20MM/S的速度移動，對（duì）被檢過濾器整個斷麵、封頭膠和安裝框架處進行掃描。