烏蘭察布hepa高效過濾器

其實很多人（rén）對於高效過濾（lǜ）器的了解還是停留在表麵上的，

比（bǐ）如隻知道潔淨室（shì）要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端（duān）的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些特性還是不太了解的！

比（bǐ）如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低（dī）於99.97%為（wéi）美國（guó）的A級別高效過濾（lǜ）器,這句話的（de）詳細（xì）意思（sī）其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法（fǎ）介紹的H14或者U15過（guò）濾器的測（cè）試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵（miàn）的內容則是我自己以前（qián）整理的（de）一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後（hòu）歐（ōu）洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低於99.97%為高（gāo）效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如（rú）下信息:EN1882對於局（jú）部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的（de）粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張（zhāng）表格,分析如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒（lì）子質量中徑,也就是所有的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要（yào）認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對（duì）0.3um的要求.其實這個（gè）規定要（yào）求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分（fèn）散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣溶（róng）膠群體,而絕不是單（dān）一粒（lì）徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺寸中徑,也就（jiù）是有50%的粒子大（dà）於這個（gè）值.50%的粒子小於這個值（zhí）。MMD=0.3um的顆粒們其實它們（men）的CMD大（dà）約在（zài）0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重（chóng）雖然小,但（dàn）是質量（liàng）權（quán）重很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是（shì）需要對某一（yī）種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至（zhì）少做5次重複（fù）試驗。每次試驗均（jun1）要發（fā）單[準]分散相或者多（duō）分散相（xiàng）的粒子（zǐ）,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區（qū）間。最後（hòu）用曲線做出來最低點。根據（jù）現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可（kě）能保（bǎo）證（zhèng）為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個（gè）標準差和粒徑大小（xiǎo）沒有直接關係，也就是計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此国产乱子伦一区二区三区可（kě）以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而（ér）是（shì）針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明（míng）確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測（cè）試,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所（suǒ）有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵（chén）應（yīng）該正好落在（zài）這個範圍之內,而且粒徑（jìng）的中值CMD應（yīng）該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發生（shēng）器可以分為若幹種,如熱發（fā）塵和冷發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發（fā）塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣（qì）多分散熱（rè）發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種（zhǒng）和第（dì）二種（zhǒng）,用光度儀測試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行測試，更加合理優越。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測量一個粒徑（jìng）值（zhí）。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的（de）粒子數（shù）量（liàng）加在一起就可以作為（wéi）上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也（yě）不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差（chà）小於1.5就可（kě）以這麽認為（wéi）了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注（zhù）意的是在上下遊收集的時候,在（zài）MPPS已經（jīng）知道的（de）情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者（zhě）部分粒子數量即可（kě）。

舉例來說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大（dà）值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因（yīn）為實際的光學粒子計數（shù）器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的（de）結果是大部分（fèn）廠（chǎng）家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要（yào）求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為（wéi）劑量範圍.因此實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量（liàng）。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵（miàn）任選一個並且選擇全部的（de）粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分（fèn）析儀來。實際的工（gōng）程結果是（shì）選擇0.1-0.2um之間的。因為（wéi）大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段發可（kě）以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的（de）值作為（wéi）劑量標準。

以上是對多分散粒子（zǐ）測試時候的分析與說明。

3:接收方（fāng）法

一（yī）般有兩（liǎng）種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計（jì）數（shù）。因此可以用（yòng）在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數（shù）器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的（de）是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測（cè）粒徑（jìng）。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒（lì）徑也能（néng）分析的一清二（èr）楚. 因此實際的接收（shōu）粒子MPPS是在（zài）一段粒徑之間的。上（shàng）麵已經說（shuō）過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低（dī）MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到（dào）最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單（dān）分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其（qí）實找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個（gè）區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那（nà）一個數據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中的DOP檢測,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分（fèn）的項目而言,還是使用H14以上（shàng）的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試（shì）的隻能（néng）是樣本,而且不可能全部都（dōu）測.因此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標（biāo）準差/幾何標準差