黔東南hepa高效過濾器

其實很多人對於高（gāo）效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻（zhī）知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於（yú）99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人（rén）思考！

比如MPPS方法（fǎ）介紹的H14或者（zhě）U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是（shì）我自己以前整理的一（yī）些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優（yōu）化自身規範和標準

目前國（guó）家（jiā）上通（tōng）行的是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標（biāo）準（zhǔn）。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中可以看到如（rú）下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體（tǐ）的5倍這當（dāng）然是（shì）在MPPS 的粒（lì）徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對以上的兩張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是（shì）單分散相或者多分散相（xiàng）的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒（lì）徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是（shì）粒（lì）子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值（zhí）.50%的粒子小（xiǎo）於這個（gè）值（zhí）。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也（yě）僅僅是類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試（shì）的。需要至少做5次重複試（shì）驗。每次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒（lì）子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大部分（fèn）的最易（yì）穿（chuān）透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某（mǒu）一個值。從商（shāng）業角度而言（yán）,氣溶膠發生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這（zhè）個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是（shì）計算結果和粒徑沒有關（guān）係.因此国产乱子伦一区二区三区可以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時（shí）候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個（gè）區間的。這個（gè）也就是為什麽（me）MPPS在實際現場測試的時候要求測試（shì）一個區間範圍內的所有粒子數量總和（hé）;同時也（yě）要（yào）說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同（tóng）的。出廠前需要（yào）明確額定濾速是多少（shǎo）.

5).對於實際的MPPS測試,一（yī）般要（yào）求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的所有（yǒu）粒子（zǐ）總數。這裏（lǐ）所隱含的條件（jiàn）是（shì）氣（qì）溶膠的發塵應該正好落在這個（gè）範圍（wéi）之內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想（xiǎng）化（huà）],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可（kě）以（yǐ）分為（wéi）若幹種,如熱發塵（chén）和（hé）冷發塵,異凝結發塵（chén）和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使（shǐ）用的是第一種和第二（èr）種,用光度儀（yí）測試質（zhì）量濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範（fàn）圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子（zǐ）數量全部加起來（lái）作（zuò）為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的（de）說法,如果是采用單分散相（xiàng）粒子（zǐ）在測試效率的時候是不計量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數量加（jiā）在一起就可以（yǐ）作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分（fèn）散相還是有各種粒徑分布的（de）。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是（shì）這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需（xū）要注意（yì）的是在上下遊收（shōu）集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的情況下（xià）,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或者（zhě）部（bù）分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落（luò）於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要（yào）求下,最（zuì）好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範（fàn）圍或（huò）者部分。這是因為（wéi）實（shí）際的光學粒子（zǐ）計數器（qì）有一個測（cè）量精度（dù）問題。大（dà）家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際的結果是大部分廠家或者測試方（fāng）最終（zhōng）的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計（jì）量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範（fàn）圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範也可（kě）以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上（shàng）任選一組作為劑量（liàng）範圍（wéi）.因此實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可（kě）以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工（gōng）程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子,因此采（cǎi）用（yòng）第二種（zhǒng）分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量標準。

以上是對多分散粒（lì）子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有（yǒu）兩種方法。

一種是用於測定質量濃（nóng）度的光度計,它不能計數（shù）。因此可以用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的時候；

另外一（yī）種是用粒子（zǐ）計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測粒徑也（yě）可以測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能分析的（de）一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在（zài）一段粒徑之間的。上麵已經說過了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出（chū）來的（de）。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到（dào）的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某（mǒu）一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以（yǐ）上要求用粒子計數器,並且直（zhí）接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不（bú）利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於（yú）多分（fèn）散相，因此其實導致的（de）結果就是CMD在（zài）0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求（qiú）現場的測（cè）試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理（lǐ）的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對（duì）於（yú）大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於（yú）測（cè）試方法上麵已經有說明,總（zǒng）體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分（fèn）析

由於現場（chǎng）測試的隻能是（shì）樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此（cǐ）實際的結（jié）果分析采用了泊鬆分（fèn）布的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區（qū）間/標準差/幾何標準差