嘉興hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾（lǜ）器的（de）了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要（yào）安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末（mò）端的高效H14，但是對於（yú）高效過濾器的一些特性還是不太了（le）解的（de）！

比如效率為針對（duì）0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾（lǜ）器,這句話的詳細意思其實並沒有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子（zǐ）的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己（jǐ）以前整理的一些筆記，針對（duì）高效過濾器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續（xù）優化自身規（guī）範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準（zhǔn）。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整（zhěng）體效率不低於99.97%為高效（xiào）;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣溶膠（jiāo）下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在（zài）MPPS 的（de）粒徑考（kǎo）慮之下（xià）;
IEST描述
針對（duì）以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是（shì）粒子質量中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠（jiāo）粒（lì）徑分布當中（zhōng）50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要（yào）認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是（shì）氣溶膠是（shì）單分散相（xiàng）或者多分散相的（de）,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為（wéi）大顆粒的粒（lì）子（zǐ）占有的數量權重雖然小（xiǎo）,但（dàn）是質量（liàng）權重很大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也（yě）僅僅是類似，不能完全（quán）等同。

3).新版的（de）EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少（shǎo）,是需要對某一種濾料,比如某一種玻（bō）璃（lí）纖維做實驗（yàn）室（shì）測試的（de）。需要至（zhì）少做5次重複試驗。每（měi）次（cì）試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者（zhě）多（duō）分散相的粒（lì）子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲線做出來最低點。根（gēn）據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能（néng）保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算（suàn）結果和粒徑沒有關係.因此国产乱子伦一区二区三区可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不（bú）是針對某（mǒu）一個（gè）粒徑的而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前（qián）需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試（shì）,一般（bān）要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱（yǐn）含的條件是氣溶膠的發塵（chén）應該正好（hǎo）落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的IEST可（kě）以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光度（dù）儀測試質量濃度比;而歐盟采用後（hòu）麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其（qí）實是一個範圍。很多工廠直（zhí）接把（bǎ）0.1-0.2um之間（jiān）的粒子（zǐ）數量（liàng）全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散（sàn）相粒子（zǐ）在測試效率的時候（hòu）是不計量粒（lì）子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作（zuò）為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注（zhù）意的是（shì）單分散相也不是真（zhēn）正的單分散相還是有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了（le）。

對於多分散（sàn）相就不是這麽回事了。因為（wéi）標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者部分（fèn）粒子數量即可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個範圍的最大（dà）值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測（cè）量精度問題。大（dà）家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任（rèn）選一（yī）組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情（qíng）況下進行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該可（kě）以在其中三（sān）個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實（shí）際的粒子分析（xī）儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就（jiù）是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子（zǐ）測（cè）試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質（zhì）量濃度的光度計,它不能計（jì）數。因此可以用在DOP方（fāng）法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是（shì）用粒子計數器或者粒徑分（fèn）析計數器,它既可以測粒徑也（yě）可以測數量（liàng）。不（bú）過需要說明（míng）的是不（bú）能認為它什麽粒徑（jìng）都能測,它一般隻（zhī）能（néng）分段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分（fèn）析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經（jīng）說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於（yú）濾（lǜ）料（liào）測試的最低MPPS的點是曲線找出來的（de）,而不（bú）是實際測出來的。規定要求測至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線的（de）方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可（kě）以了,而對於（yú）高要求的U15以上要求用粒子計數（shù）器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那（nà）一個數據.但是並不需（xū）要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司（sī）使用TFI的冷發塵（chén）,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在（zài）0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因（yīn）此（cǐ）要求現場的測試質量濃（nóng）度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使（shǐ）用H14以上的（de）高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方（fāng）法（fǎ）

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對於測（cè）試方法上麵已（yǐ）經有說明（míng）,總體而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數（shù）量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於（yú）現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了（le）統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差