兩（liǎng）種檢漏（lòu）方法適（shì）用的潔淨室等級（jí）是怎樣的（de）？

氣溶（róng）膠光度（dù）計（jì）掃描法和粒子計數器掃描法的適用潔淨室等級，需結合潔淨室分級標準（如ISO 14644 - 1、GB 50073 - 2013）及檢測原理的（de）靈敏度差異來劃分，具體（tǐ）適用（yòng）範圍如下： 氣溶膠（jiāo）光度計掃描法適用等級 - **核心適用範圍**：主要適（shì）用於ISO 5級（百級）至ISO 8級（十萬級）潔淨室，對應中國標準A級（jí）至D級中的B級及（jí）以下場景，尤其適配**H13級及以下高效過濾器（HEPA）** 的檢漏。 - **典型應用場景**：半導體行業中對微小粒子控製要求中等的環節（如封裝測試（shì）車間）、製（zhì）藥行業非（fēi）無菌製劑車間（B級/D級）等。 - **適配邏輯**：該方（fāng）法通過檢（jiǎn）測氣溶膠質量濃（nóng）度計算泄漏率，靈敏（mǐn）度（dù）為**泄漏率≤0.01%** ，可滿足中高潔淨度對過濾器整（zhěng）體密封性的常（cháng）規檢測需求。但（dàn）受限於質量濃度檢測原理，難以精準捕捉0.1μm以下的超微小粒子泄漏，因此不適用於對極致潔淨度要求的場（chǎng）景。 粒子計數器掃描法適用（yòng）等（děng）級 - **核心（xīn）適用（yòng）範圍**：覆蓋ISO 1級至ISO 8級全範圍（wéi）潔淨室，尤其在**ISO 1級（jí）至ISO 4級（超高潔淨度）** 場景中為首選方法，適（shì）配（pèi）**ULPA過濾器（超高效（xiào）過濾器）** 及H14級以上HEPA過濾器的檢漏。 - **典型應用（yòng）場景**：半導體晶圓製造（如14nm及以下製程（chéng）的光刻車（chē）間）、生物醫藥A級動態潔淨室（無菌（jun1）製劑灌裝區）等。 - **適配邏輯**：該方法直接計數（shù）特定粒徑粒子（最小可檢測0.1μm），能精準計算微小粒子的穿透率，合格標準（zhǔn）為**穿透率≤3倍過濾（lǜ）器出廠值**（如ULPA過（guò）濾器出廠效（xiào）率99.999%，實測穿透（tòu）率需≤0.003%）。其高靈敏（mǐn）度可（kě）滿足超高（gāo）潔（jié）淨度場景對超微小粒子泄漏（lòu）的嚴格管控，同（tóng）時也（yě）可向下兼容（róng）中低潔淨度檢測（需調整粒子濃度閾值）。 關鍵差異與選擇依據 | 對比維度 | 氣溶膠光度計掃描（miáo）法 | 粒子計數器掃描法 | |----------------|--------------------------|--------------------------| | 最小可檢粒徑 | 約0.3μm（質量濃（nóng）度換算） | 0.1μm（直接計數） | | 泄漏率限（xiàn）值（zhí） | ≤0.01% | ≤3倍出廠穿透率（通常≤0.003%） | | 優勢場景 | 中高潔淨度（ISO 5 - 8級）、HEPA過濾器常規檢漏 | 超高潔淨度（ISO 1 - 4級）、ULPA過濾器（qì）精準檢漏 | | 局限性 | 無法精（jīng）準檢測0.1μm以下粒子泄漏 | 需控製上遊粒子濃度（≥0.1μm粒子需≥3.5×10^6粒/L），檢測效率（lǜ）較（jiào）低 |