雲南hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些（xiē）特性還是不太了解的！

比如效（xiào）率（lǜ）為針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低（dī）於99.97%為美國（guó）的A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾（lǜ）器的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高（gāo）效過（guò）濾器的一些（xiē）詳細介紹（shào）。

不太懂（dǒng）的就看黑體字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器（qì）效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍（bèi）這當然是（shì）在MPPS 的粒徑考慮（lǜ）之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當（dāng）中50%的質量（liàng）大於這個值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的（de）要求.其實（shí）這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相（xiàng）的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占（zhàn）有的（de）數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做（zuò）5次重複試驗。每次（cì）試驗均（jun1）要發單[準]分散相或者多分（fèn）散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲（qǔ）線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大（dà）部分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商（shāng）業角度而言（yán）,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可（kě）能保證為唯一（yī）粒徑（jìng）粒子,從標（biāo）準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是（shì）這個（gè）標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此国产乱子伦一区二区三区可以認為MPPS的粒（lì）徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針（zhēn）對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有（yǒu）粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一般（bān）要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條（tiáo）件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正好落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值CMD應（yīng）該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過（guò）10%;

2.氣溶（róng）膠發生器（qì）

氣溶膠發生器可以分為（wéi）若（ruò）幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發（fā）塵（chén）和同凝（níng）結發塵（chén）,在DPMS的幫助下（xià）可以（yǐ）保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射（shè）凝結式氣溶（róng）膠發生器 準單分散相（xiàng）自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電（diàn）移（yí）過濾為單（dān）分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可（kě）以看（kàn）出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測（cè）試質量濃度比;而歐（ōu）盟（méng）采（cǎi）用後麵四（sì）種進行測試，更加合（hé）理優越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測量（liàng）一個粒徑值。其實是（shì）一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之（zhī）間的粒（lì）子數量全部加（jiā）起來作為MPPS的數（shù）量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把（bǎ）所有的粒子數量加在一（yī）起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏要注意的是單分散（sàn）相也不（bú）是真（zhēn）正的單分（fèn）散相還是（shì）有各種粒徑分布的。隻要標準差（chà）小於1.5就可以這麽認為了（le）。

對於（yú）多分散相就不是這麽回事了。因為（wéi）標準（zhǔn）差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時（shí）測（cè）粒子粒徑分布和（hé）數（shù）量。需要注意的是（shì）在上下遊（yóu）收集（jí）的時（shí）候,在MPPS已經知道的情況（kuàng）下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值（zhí）與最小值之比為（wéi）2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度（dù）問題。大家知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分（fèn）廠家或者測試方最終（zhōng）的計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情（qíng）況下進（jìn）行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子（zǐ）或者部分的粒子（zǐ）。到底怎麽選根（gēn）據（jù）實際的粒子分析儀來（lái）。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段發可以在（zài）0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方（fāng）法（fǎ）。

一種是用於（yú）測定質量濃度的光（guāng）度計,它不能計數。因此可以用（yòng）在DOP方法測試H13和H14上麵特別是（shì）在現場的時候；

另外一（yī）種是用粒子計數器或者粒徑（jìng）分析計（jì）數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是（shì）大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在（zài）一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經（jīng）說過了（le）。

這（zhè）是因為EN1822-3對於濾料測（cè）試的最低MPPS的點是曲（qǔ）線找出來的,而不是實際測出來的。規（guī）定要求測至少六（liù）種不同的（de）粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單（dān）分散（sàn）相的粒子（zǐ）發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區（qū）間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑（jìng）,所以這更加說明了是粒子（zǐ）分析隻能測試（shì）出某一（yī）段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子（zǐ）計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那（nà）一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此（cǐ）其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的（de）要求了。因此要求現場的測試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的.因為（wéi）這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室（shì）要求低了。

對於大（dà）部分的項目而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於（yú）測試方法（fǎ）上（shàng）麵已（yǐ）經有說明（míng）,總體而（ér）言就是（shì）測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的數量;

6:對（duì）測試結果的分析

由於現場（chǎng）測試（shì）的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全（quán）部都測.因（yīn）此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中（zhōng）提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間（jiān）/標準差/幾何標準差